Behavior of Surface Acoustic Wave Resonators in Supercritical CO2

By utilizing a surface acoustic wave (SAW), it may be possible to realize a sensor for measuring the density fluctuation of supercritical fluids. In this study, the behaviors of a Rayleigh-SAW resonator fabricated on 128° Y--X LiNbO 3 and a pure shear-horizontal-type SAW resonator fabricated on ST 9...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Jpn J Appl Phys 2011-07, Vol.50 (7), p.07HD08-07HD08-4
Hauptverfasser:	Kakio, Shoji, Hayashi, Katsuhiro, Kondoh, Eiichi, Nakagawa, Yasuhiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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