Fabrication and characterization of a Pt/MgxZn1−xO/ZnO Schottky barrier photodiode utilizing a field plate structure
We fabricated a Pt/MgxZn1−xO/ZnO Schottky barrier photodiode (SBPD) utilizing a field plate structure and investigated the characteristics of its electric property toward realization of a high-gain avalanche photodiode for feeble ultraviolet ray detection. A MgxZn1−xO film on the Zn-face of a c-ZnO...
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| Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2018-04, Vol.57 (4S) |
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| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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