(Digital Presentation) CeOx Capping for Ferroelectric Y:HfO2 Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2022-07, Vol.MA2022-01 (29), p.1294-1294
Hauptverfasser:	Mizutani, Kazuto, Hoshii, Takuya, Wakabayashi, Hitoshi, Tsutsui, Kazuo, Kakushima, Kuniyuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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