Low-Resistance Ti/Au Ohmic Contact on (001) Plane Ga2O3 Crystal

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2022-04, Vol.11 (4)
Hauptverfasser:	Kim, Yukyung, Kim, Man-Kyung, Baik, Kwang Hyeon, Jang, Soohwan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	dangling bond metal contact ohmic surface energy
Online-Zugang:	Volltext
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