Langmuir-Type Expressions for In-Situ Co-Doping of C with B or P in Si1–xGex Epitaxial Growth by Chemical Vapor Deposition
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | ECS journal of solid state science and technology 2021-06, Vol.10 (6) |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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