(Invited) 3D Monolithic Integration

3D Monolithic Integration with ultra-small 3D contact pitch (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS transactions 2018-04, Vol.85 (8), p.125-130
Hauptverfasser:	Brunet, Laurent, Batude, Perrine, Fenouillet-Beranger, Claire, Vinet, Maud
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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