Modelling of a miniature microwave driven nitrogen plasma jet and comparison to measurements

The MMWICP (miniature microwave ICP) is a new plasma source using the induction principle. Recently Klute et al presented a mathematical model for the electromagnetic fields and power balance of the new device. In this work the electromagnetic model is coupled with a global chemistry model for nitro...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2021-06, Vol.30 (6), p.65014
Hauptverfasser:	Klute, Michael, Kemaneci, Efe, Porteanu, Horia-Eugen, Stefanović, Ilija, Heinrich, Wolfgang, Awakowicz, Peter, Brinkmann, Ralf Peter
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	inductively microwave miniature nitrogen plasma jet
Online-Zugang:	Volltext
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