The effect of oxygen admixture on the properties of microwave generated plasma in Ar–O2: a modelling study

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2021-09, Vol.54 (35)
Hauptverfasser:	Baeva, M, Stankov, M, Trautvetter, T, Methling, R, Hempel, F, Loffhagen, D, Foest, R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	argon–oxygen mixtures microwave plasma self-consistent modelling
Online-Zugang:	Volltext
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