First Demonstration of Ferroelectric Tunnel Thin-Film Transistor Nonvolatile Memory With Polycrystalline-Silicon Channel and HfZrO } Gate Dielectric

In this work, the nonvolatile memory constructed on the tunnel thin-film transistors (tunnel-TFTs) using polycrystalline-silicon channel featuring ferroelectric HfZrO _{\textit{x}} layer is demonstrated for the first time. When the pulse voltages of program (PG) and erase (ER) are, respectively, 3....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2022-11, Vol.69 (11), p.1-6
Hauptverfasser: Ma, William Cheng-Yu, Su, Chun-Jung, Kao, Kuo-Hsing, Lee, Yao-Jen, Lin, Ju-Heng, Wu, Pin-Hua, Chang, Jui-Che, Yen, Cheng-Lun, Tseng, Hsin-Chun, Liao, Hsu-Tang, Chou, Yu-Wen, Chiu, Min-Yu, Chen, Yan-Qing
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!