A Resonant Lorentz-Force Magnetometer Exploiting Blue Sideband Actuation to Enhance Sensitivity and Resolution
This paper reports a miniaturized resonant Lorentz-force magnetometer that exploits blue-sideband actuation to attain a better sensitivity and resolution. The resonant magnetometer consists of a double-ended tuning fork (DETF) resonator with cavity slots to optimize thermoelastic dissipation, as wel...
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Veröffentlicht in: | Journal of microelectromechanical systems 2022-06, Vol.31 (3), p.402-407 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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