A Resonant Lorentz-Force Magnetometer Exploiting Blue Sideband Actuation to Enhance Sensitivity and Resolution

This paper reports a miniaturized resonant Lorentz-force magnetometer that exploits blue-sideband actuation to attain a better sensitivity and resolution. The resonant magnetometer consists of a double-ended tuning fork (DETF) resonator with cavity slots to optimize thermoelastic dissipation, as wel...

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Veröffentlicht in:Journal of microelectromechanical systems 2022-06, Vol.31 (3), p.402-407
Hauptverfasser: Wang, Yuan, Song, Xiaoxiao, Xi, Jingqian, Li, Fangzheng, Xu, Lei, Liu, Huafeng, Wang, Chen, Kuang, Shuangyang, Tu, Liang-Cheng, Kraft, Michael, Zhao, Chun
Format: Artikel
Sprache:eng
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