Six Degrees-of-Freedom Direct-Driven Nanopositioning Stage Using Crab-Leg Flexures

This article presents a novel six degrees-of-freedom nanopositioning stage having a low-profile shape. The six degrees-of-freedom motion is achieved in a parallel configuration comprising four crab-leg flexure guide mechanisms and eight electromagnetic actuators. The crab-leg flexure can be engineer...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE/ASME transactions on mechatronics 2020-04, Vol.25 (2), p.513-525
Hauptverfasser:	Kang, Sunghoon, Lee, Moon Gu, Choi, Young-Man
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Actuators Analytical models compliant mechanism Degrees of freedom Design optimization Electromagnetics Flexing Force Kinematics Mechatronics motion control Nanopositioning Optical microscopes Power consumption Springs Stiffness Tracking errors
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