Fully-Integrated CMOS Electrical Conductivity Sensor for Wet Media

This paper describes a fully-integrated CMOS electrical conductivity sensor for wet media that incorporates the sensing electrodes and the readout circuitry in the same die. The proposed sensor is realized using standard CMOS technology, where the top passivation layer is used to protect the sensing...

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Veröffentlicht in:IEEE sensors journal 2019-08, Vol.19 (15), p.6445-6451
Hauptverfasser: Asgari, Mohammadreza, Lee, Kye-Shin
Format: Artikel
Sprache:eng
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