A Displacement Sensor With Centimeter Dynamic Range and Submicrometer Resolution Based on an Optical Interferometer
We report a low cost and extrinsic Fabry-Perot interferometer-based optical fiber displacement sensor with a wide dynamic range, up to 2.0 cm, and 0.270 μm resolution. The fundamental design principle includes an inclined mirror, mounted on a translational stage, that combines with the end face of a...
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Veröffentlicht in: | IEEE sensors journal 2017-09, Vol.17 (17), p.5523-5528 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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