A Displacement Sensor With Centimeter Dynamic Range and Submicrometer Resolution Based on an Optical Interferometer

We report a low cost and extrinsic Fabry-Perot interferometer-based optical fiber displacement sensor with a wide dynamic range, up to 2.0 cm, and 0.270 μm resolution. The fundamental design principle includes an inclined mirror, mounted on a translational stage, that combines with the end face of a...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE sensors journal 2017-09, Vol.17 (17), p.5523-5528
Hauptverfasser: Chen Zhu, Yizheng Chen, Yang Du, Yiyang Zhuang, Fengxue Liu, Gerald, Rex E., Jie Huang
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!