Magnetic variable reluctance mini-motor using Liga, x-ray lithography and electroplating

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	O'Sullivan, E.J., Cooper, E.I., Romankiw, L.T., Krongelb, S., Trouilloud, P., Hedge, S., Horkans, J., Kwietniak, K., Tornello, J., Roux, S., Wood, P., Malek, C.K., Ling, Z.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Inductance Magnetic films Magnetic flux Magnetostatic waves Optical device fabrication Optical films Reluctance motors Thin film inductors Voltage X-ray lithography
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1109/INTMAG.1998.742400