Tapered Edge Readout Wiring for Transition Edge Sensor Calorimeter Arrays Using Ion Milling

We are developing transition edge sensor (TES) arrays using multilayer superconducting readout wiring for future X-ray astronomical missions. The TES pixels are formed on the multilayer readout wiring composed of hot and return wires sandwiching an insulation layer. The interface between the wiring...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on applied superconductivity 2015-06, Vol.25 (3), p.1-5
Hauptverfasser:	Ezoe, Yuichiro, Iijima, Noriko, Yamaguchi, Seiya, Miyazaki, Naoto, Yamada, Shinya, Ishisaki, Yoshitaka, Ohashi, Takaya, Mitsuda, Kazuhisa, Satoh, Tetsuro, Hidaka, Mutsuo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Contacts Gold ion milling micromachining microstrip Milling Nonhomogeneous media Temperature measurement Wiring x-ray astronomy x-ray microcalorimeter
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