The manufacturing of Si base thin film solar cell modules

Si based thin film solar cell will be next generation of solar cell products. In order to fabricate high efficiency Si base thin film solar cell, High density (HD) and very high frequency (VHF)-PECVD technologies have been developed for high quality, large scaling ue-Si, μc-SiGe, and μc-SiC film dep...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Tingkai Li
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Glass Inductors Radio frequency Silicon
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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