Deep, vertical etching of hi-silica films for optical waveguide applications

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	McLaughlin, A.J., Bonar, J.R., Jubber, M.G., Marques, P.V.S., Hicks, S.E., Wilkinson, C.D.W., Aitchison, J.S.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Dry etching Fires Glass Light sources Optical device fabrication Optical fiber communication Optical films Optical sensors Optical waveguides Silicon compounds
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