Scalability of hole mobility enhancement in biaxially strained ultrathin body SOI

The effect of biaxial strain on the valence band structure of ultrathin body (UTB) silicon-on-insulator (SOI) is studied using an sp/sup 3/d/sup 5/s/sup */ tight binding model. In contrast to bulk silicon, where biaxial tensile strain improves hole mobility via band splitting and decreasing the effe...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE electron device letters 2006-05, Vol.27 (5), p.402-404
Hauptverfasser: Khakifirooz, A., Antoniadis, D.A.
Format: Artikel
Sprache:eng
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