The application of ion implantation to specific device structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 1968-09, Vol.15 (9), p.687-687
Hauptverfasser: Brook, P., Hambleton, K.G., Large, L.N., Raines, J.A., Whitehead, C.S.
Format: Artikel
Sprache:eng
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