Iridium oxide as low temperature NO/sub 2/-sensitive material for work function-based gas sensors
This paper presents the results on work function-based NO/sub 2/-sensing properties of iridium-oxide thin films at 130/spl deg/C. Films of 20-nm and 100-nm thickness were deposited on silicon substrates using dc sputtering followed by annealing in oxygen ambient. Sensitivity of these films to differ...
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Veröffentlicht in: | IEEE sensors journal 2004-04, Vol.4 (2), p.189-194 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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