Iridium oxide as low temperature NO/sub 2/-sensitive material for work function-based gas sensors

This paper presents the results on work function-based NO/sub 2/-sensing properties of iridium-oxide thin films at 130/spl deg/C. Films of 20-nm and 100-nm thickness were deposited on silicon substrates using dc sputtering followed by annealing in oxygen ambient. Sensitivity of these films to differ...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE sensors journal 2004-04, Vol.4 (2), p.189-194
Hauptverfasser: Karthigeyan, A., Gupta, R.P., Scharnagl, K., Burgmair, M., Zimmer, M., Sulima, T., Venkataraj, S., Sharma, S.K., Eisele, I.
Format: Artikel
Sprache:eng
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