Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Micro and Nano Engineering 2018-11, Vol.1, p.56-62
Hauptverfasser:	Böhme, Sophie, Arias-Zapata, Javier, Garnier, Jérôme, Girardot, Cécile, Legrain, Antoine, Zelsmann, Marc
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics
Online-Zugang:	Volltext
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