Optimization of an MEMS Magnetic Thin Film Vibrating Magnetometer

This paper presents models developed through analytical or numerical computation and finite-element analysis to improve the resolution of a new kind of vibrating magnetometers. This peculiar magnetometer uses the piezoelectric transduction to actuate a quartz resonator at its resonance frequency tak...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on magnetics 2017-04, Vol.53 (4), p.1-5
Hauptverfasser:	Perrier, T., Levy, R., Bourgeteau-Verlhac, B., Kayser, P., Moulin, J., Paquay, S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Ferromagnetic thin film Finite element analysis Instrumentation and Detectors Magnetic fields Magnetic films Magnetic resonance Magnetism magnetometer Magnetometers Magnetostatics micro-electromechanical systems (MEMS) Physics Quartz quartz resonator Resonators Sensitivity sensitivity modeling Thin films
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