Reduction of the cantilever hydrodynamic damping near a surface by ion-beam milling

In this work, we evaluate the influence of the cantilever width on the hydrodynamic drag force. To do so, we present an experimental analysis of the thermal motion in air and liquid of a commercial and modified by focused ion-beam (FIB) milling silicon nitride cantilevers. From the thermal noise spe...

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Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2006-01, Vol.99 (2)
Hauptverfasser:	Maali, A., Cohen-Bouhacina, T., Jai, C., Hurth, C., Boisgard, R., Aimé, J. P., Mariolle, D., Bertin, F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics
Online-Zugang:	Volltext
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