The influence of sequence of precursor films on CZTSe thin films prepared by ion-beam sputtering deposition
The CuZnSn(CZT) precursor thin films are grown by ion-beam sputtering Cu, Zn, Sn targets with different orders and then sputtering Se target to fabricate Cu_2ZnSnSe_4(CZTSe) absorber thin films on molybdenum substrates. They are annealed in the same vacuum chamber at 400 ℃. The characterization meth...
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Veröffentlicht in: | Journal of semiconductors 2017-02, Vol.38 (2), p.15-19 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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