First-principles study of near surface point defects stability in Si (100) and SiGe(100)
Calculations based on Density Functional Theory are carried out to study interstitial generation close to the Si(100) surface with further consideration of effects related to the presence of substitutional Ge atoms on the surface. Defect structures, vacancy and Si interstitial, and associated energi...
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Veröffentlicht in: | Thin solid films 2010-02, Vol.518 (9), p.2418-2421 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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