Novel “Vibrating Wire Like” NEMS and MEMS Structures for Low Temperature Physics
Using microfabrication techniques, it has become possible to make mechanical devices with dimensions in the micro and even in the nano scale domain. Allied to low temperature techniques, these systems have opened a new path in physics with the ultimate goal of reaching the quantum nature of a macros...
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Veröffentlicht in: | Journal of low temperature physics 2010-02, Vol.158 (3-4), p.678-684 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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