Replication of sub 40 nm nanoelectrodes over a 8-in substrate by nanoimprint lithography

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Microelectronic engineering 2005, Vol.78-79, p.676-681
Hauptverfasser:	Tallal, J., Peyrade, D., Lazzarino, F., Berton, K., Perret, C., Gordon, M., Gourgon, C., Schiavone, P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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