Vacuum and cryogenic station for Micro-Electro-Mechanical Systems probing and testing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Review of scientific instruments 2002, Vol.73, p.4393-4395
Hauptverfasser:	Legrand, Bernard, Quévy, E., Stefanelli, B., Collard, D., Buchaillot, L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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