Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Klages, C, Thyen, R, Hoeing, T
Format:	Patent
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator	Klages, C Thyen, R Hoeing, T
description
format	Patent
fullrecord	<record><control><sourceid>fraunhofer_E3A</sourceid><recordid>TN_cdi_fraunhofer_primary_oai_fraunhofer_de_PX_38786</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>oai_fraunhofer_de_PX_38786</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-fraunhofer_primary_oai_fraunhofer_de_PX_387863</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqdjU0KwjAQRrtxIeod5gC6qmjX_uFOoVLchTSdmECbyCRR6j28rylK6drVMN-87804eRdIkitCA6_QwAadUFooH_eHNXAq47nmKFQMUBt0kIfSeeIe3RwKS9TRwdxinWAXSCgZUFGXVJHu9ZHOv2rXOo8NOPvUCGX_0A_c02Qkee1w9puTZHnYX7bHhSQejLISid1JN5xaZrlmg7hCdr6yNFtnq_TP2gdwemRy</addsrcrecordid><sourcetype>Institutional Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat</title><source>Fraunhofer-ePrints</source><creator>Klages, C ; Thyen, R ; Hoeing, T</creator><creatorcontrib>Klages, C ; Thyen, R ; Hoeing, T</creatorcontrib><language>ger</language><creationdate>1999</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><link.rule.ids>308,315,776,4035,27837</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttp://publica.fraunhofer.de/documents/PX-38786.html$$EView_record_in_Fraunhofer-Gesellschaft$$FView_record_in_$$GFraunhofer-Gesellschaft$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Klages, C</creatorcontrib><creatorcontrib>Thyen, R</creatorcontrib><creatorcontrib>Hoeing, T</creatorcontrib><title>Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat</title><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>1999</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>AFSUM</sourceid><sourceid>E3A</sourceid><recordid>eNqdjU0KwjAQRrtxIeod5gC6qmjX_uFOoVLchTSdmECbyCRR6j28rylK6drVMN-87804eRdIkitCA6_QwAadUFooH_eHNXAq47nmKFQMUBt0kIfSeeIe3RwKS9TRwdxinWAXSCgZUFGXVJHu9ZHOv2rXOo8NOPvUCGX_0A_c02Qkee1w9puTZHnYX7bHhSQejLISid1JN5xaZrlmg7hCdr6yNFtnq_TP2gdwemRy</recordid><startdate>1999</startdate><enddate>1999</enddate><creator>Klages, C</creator><creator>Thyen, R</creator><creator>Hoeing, T</creator><scope>AFSUM</scope><scope>E3A</scope></search><sort><creationdate>1999</creationdate><title>Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat</title><author>Klages, C ; Thyen, R ; Hoeing, T</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-fraunhofer_primary_oai_fraunhofer_de_PX_387863</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>1999</creationdate><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Klages, C</creatorcontrib><creatorcontrib>Thyen, R</creatorcontrib><creatorcontrib>Hoeing, T</creatorcontrib><collection>Fraunhofer-ePrints - FT</collection><collection>Fraunhofer-ePrints</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Klages, C</au><au>Thyen, R</au><au>Hoeing, T</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat</title><date>1999</date><risdate>1999</risdate><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext	fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language	ger
recordid	cdi_fraunhofer_primary_oai_fraunhofer_de_PX_38786
source	Fraunhofer-ePrints
title	Verfahren zum Beschichten von Oberflaechen eines Substrates, Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens, Schichtsystem sowie beschichtetes Substrat
url	https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-02-02T13%3A09%3A00IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-fraunhofer_E3A&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=Klages,%20C&rft.date=1999&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cfraunhofer_E3A%3Eoai_fraunhofer_de_PX_38786%3C/fraunhofer_E3A%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true