Die Atomlagenabscheidung von Cobaltphosphid zum Zwecke einer effizienten Wasserspaltung

Wir berichten von der erstmaligen erfolgreichen Herstellung von Übergangsmetallphosphiden (TMP) mittels Atomlagenabscheidung (ALD). Ultradünne Co‐P Filme wurden mit PH3‐Plasma als der Phosphorquelle und einem zusätzlichen H2‐Plasma‐Schritt, der zum Entfernen von überschüssigem P aus den wachsenden S...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Zhang, H, Hagen, D.J, Li, X, Graff, A, Heyroth, F, Fuhrmann, B, Kostanovskiy, I, Schweizer, S.L, Caddeo, F, Maijenburg, A.W, Parkin, S, Wehrspohn, R.B
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!