Einœ holistisches Konzept zur Entwicklung einer innovativen, umfassenden und multisensoriellen Steuerung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015 Ilmenau, Ilmenau University of Technology, Diss., 2015 Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2015

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Sparrer, Erik
Format:	Web Resource
Sprache:	ger
Schlagworte:	Engineering and mechanical engineering I + + DME Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Nanopositioning and nanomeasurement machines NPMM optical sensors optische Sensoren OSIS Quindos Steuerungssoftware tactile sensors taktile Sensoren
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