Modellierung von Transportprozessen neutraler und ionisierter Spezies in mikro- und nanostrukturierenden Ätzprozessen

Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012 Ilmenau, Ilmenau University of Technology, Diss., 2012 Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hauguth, Maik
Format:	Web Resource
Sprache:	ger
Schlagworte:	Electrical engineering, electronics Elektrotechnik, Elektronik Plasma etching Plasmaätzen Simulation
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012 Ilmenau, Ilmenau University of Technology, Diss., 2012 Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012