METHOD AND APPARATUS FOR TESTING OF SHEET MATERIAL

An apparatus for testing of electrical, mechanical, physical and/or chemical properties of material in sheet form includes sensors which may be positioned adjacent to a surface of material in sheet form located in a cassette and supports positioned to reduce sag of the material. A method for testing sheet material includes the steps of placing the sheet material in a cassette, and testing the sheet material while in the cassette. A cassette includes shelves having defined therein test heads for testing properties of material in sheet form. Shelves may have test heads or sensors mounted in a lower surface thereof, which test heads or sensors cooperate with test heads or sensors mounted in the upper surface of the next lower shelf. Shelves may include test points that have multiple sensors that cooperate, such as by inductive coupling, to test the material. A robot end effector is dimensioned to contact a lower surface of material in a cassette and has test sensors defined therein for testing of properties of the material. Materials to be tested include flat panels for computer screens and semiconductor wafers. L'invention concerne un appareil permettant de contrôler les propriétés électriques, mécaniques, physiques, et/ou chimiques d'un matériau constitué de plusieurs feuilles. Cet appareil comprend des capteurs pouvant être placés à proximité d'une surface de ce matériau en feuilles situé dans une cassette, des supports étant par ailleurs disposés de manière à pouvoir réduire l'affaissement de ce matériau. L'invention concerne également un procédé pour contrôler un matériau en feuilles, ce procédé consistant à placer ce matériau dans une cassette et à le contrôler tandis qu'il se trouve dans cette cassette, laquelle comprend des étagères sur lesquelles sont ménagées des têtes de contrôle, destinées à contrôler les propriétés dudit matériau. Des têtes de contrôle ou des capteurs peuvent être montés sur une surface inférieure de ces étagères, ces têtes et ces capteurs étant conçus pour coopérer avec les têtes de contrôle ou capteurs montés sur la surface supérieure de chaque étagère. Ces étagères peuvent par ailleurs présenter des points de contrôle comprenant plusieurs capteurs qui coopèrent, notamment par couplage par induction, de manière à contrôler le matériau en feuilles. L'organe d'exécution d'un robot, conçu pour entrer en contact avec une surface inférieure du matériau placé dans une cassette, comprend des capteurs de contrôle permettant de contrôle