ELECTROSTATIC CHUCK EMPLOYING THERMOELECTRIC COOLING

An electrostatic chuck employs thermoelectric cooling technology. The chuck includes a conductive circular base with an upper ring portion forming a first pole piece electrically isolated from an annular portion forming a second pole piece. The upper surface of the pole pieces have a dielectric material formed thereon and together form the electrostatic clamping surface for an article to be held thereon. The backside is provided with an annular recess containing a plurality of thermoelectric devices or modules and intervening spokes. The devices are covered with a heat sink or cooling plate through which a fluid such as water is circulated. A retaining back ring covers the water plate which is secured to the base by bolts. Uniform pressure is applied to the water plate and modules by means of spring washers inserted between back ring and water plate. L'invention concerne un mandrin électrostatique à refroidissement thermoélectrique, qui comprend une base circulaire conductrice, dotée d'un anneau supérieur formant un premier pôle isolé électriquement par rapport à une partie annulaire constituant un second pôle. La surface supérieure des pôles est en matériau diélectrique, offrant ainsi un plan de serrage électrostatique pour un article à maintenir sur ladite surface. L'arrière est doté d'une cavité annulaire comportant plusieurs dispositifs ou modules thermoélectriques et des ailettes d'interconnexion. Les dispositifs sont couverts par un puits de chaleur ou une plaque de refroidissement, où l'on fait circuler un liquide (par exemple, eau). Une bague arrière de retenue couvre la plaque susmentionnée, avec fixation à la base via des boulons. La pression appliquée à la plaque et aux modules considérés est uniforme grâce à des rondelles élastiques, que l'on insère entre la bague arrière et la plaque proprement dite.