COMPOSITE CERAMIC DIELECTRICS

An electrostatic chuck (5, 7, 9) is disclosed comprising a base (14), at least one electrode in the form of an electrically conductive layer (13) on the base (14), and a dielectric layer (12, 18) overlaying the conductive layer (13), the dielectric layer (12, 18) comprising inorganic particulate material dispersed in an inorganic matrix phase, the matrix phase being a glass or glass-ceramic, and in which the dielectric layer (12, 18) has a coefficient of thermal expansion substantially matched to that of the base (14). In a second aspect an electrostatic chuck (4) is disclosed comprising an electrode in the form of an electrically conductive base (11), and a dielectric layer (10) overlaying and adhering to the conductive base (11) without any deposited intermediate interlayer, the dielectric layer (10) comprising inorganic particulate material dispersed in an inorganic matrix phase, the matrix phase being a glass or glass-ceramic, and in which the dielectric layer (10) has a coefficient of thermal expansion substantially matched to that of the base (11). L'invention concerne un mandrin de serrage électrostatique (5, 7, 9) qui comprend une base (14), au moins une électrode sous la forme d'une couche conductrice (13) posée sur la base (14) et une couche diélectrique (12, 18) recouvrant la couche conductrice (13). La couche diélectrique (12, 18) contient un matériau particulaire inorganique dispersé dans une phase matricielle inorganique vitreuse ou vitrocéramique dans laquelle elle présente un coefficient de dilatation thermique correspondant sensiblement à celui de la base (14). Dans un deuxième aspect de l'invention, on décrit un mandrin de serrage électrostatique (4) qui comprend une électrode sous la forme d'une base conductrice (11), et un une couche diélectrique (10) recouvrant la base conductrice (11) sur laquelle elle est collée sans dépôt d'aucune couche intermédiaire. La couche diélectrique (10) contient un matériau particulaire inorganique dipersé dans un phase matricielle inorganique vitreuse ou vitrocéramique dans laquelle elle présente un coefficient de dilatation thermique correspondant sensiblement à celui de la base (14).