OPTICAL APPARATUS

OPTICAL APPARATUS

An optical apparatus, which may be used as an ellipsometer, or as an apparatus to measure the refractive index of a sample, comprises a unit (10) for emitting a beam (B1) of polarised light onto a sample (12), the unit (10) being rotatable to rotate the plane of polarisation of the incident beam (B1...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: JENKINS, TUDOR, EMLYN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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creator JENKINS, TUDOR, EMLYN
description An optical apparatus, which may be used as an ellipsometer, or as an apparatus to measure the refractive index of a sample, comprises a unit (10) for emitting a beam (B1) of polarised light onto a sample (12), the unit (10) being rotatable to rotate the plane of polarisation of the incident beam (B1), and a photodetector (14) for receiving the beam (B2) reflected from the sample. Preferably the angle of incidence of the beam on the sample can be altered. Appareil optique pouvant être utilisé comme un ellipsomètre ou bien un appareil permettant de mesurer l'indice de réfraction d'une éprouvette. L'appareil de l'invention comprend une unité (10) destinée à émettre un faisceau (B1) de lumière polarisée sur une éprouvette (12), l'unité (10) pouvant tourner de façon à tourner sur le plan de polarisation du faisceau incident (B1), et un photodétecteur (14) destiné à recevoir le faisceau (B2) réfléchi à partir de l'éprouvette. De préférence, on peut modifier l'angle d'incidence du faisceau sur l'éprouvette.
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Preferably the angle of incidence of the beam on the sample can be altered. Appareil optique pouvant être utilisé comme un ellipsomètre ou bien un appareil permettant de mesurer l'indice de réfraction d'une éprouvette. L'appareil de l'invention comprend une unité (10) destinée à émettre un faisceau (B1) de lumière polarisée sur une éprouvette (12), l'unité (10) pouvant tourner de façon à tourner sur le plan de polarisation du faisceau incident (B1), et un photodétecteur (14) destiné à recevoir le faisceau (B2) réfléchi à partir de l'éprouvette. 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Preferably the angle of incidence of the beam on the sample can be altered. Appareil optique pouvant être utilisé comme un ellipsomètre ou bien un appareil permettant de mesurer l'indice de réfraction d'une éprouvette. L'appareil de l'invention comprend une unité (10) destinée à émettre un faisceau (B1) de lumière polarisée sur une éprouvette (12), l'unité (10) pouvant tourner de façon à tourner sur le plan de polarisation du faisceau incident (B1), et un photodétecteur (14) destiné à recevoir le faisceau (B2) réfléchi à partir de l'éprouvette. 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