ENDPOINT DETECTION SYSTEM AND METHODS OF USING THE SAME

A system includes a byproduct analysis processor for use with a byproduct detector in fluid communication with a foreline of a processing chamber having a plasma source configured to generate a reactive species adapted to clean an interior of the processing chamber during a chamber cleaning process. The processor can obtain detection data representing a cleaning byproduct concentration exhausted from an interior of the processing chamber and determine an endpoint of the chamber cleaning process based and/or determine a fault condition associated with the processing chamber based on the detection data. L'invention concerne un système qui comprend un processeur d'analyse de sous-produit destiné à être utilisé avec un détecteur de sous-produit en communication fluidique avec une conduite de refoulement primaire d'une chambre de traitement ayant une source de plasma configurée pour générer une espèce réactive conçue pour nettoyer un intérieur de la chambre de traitement pendant un processus de nettoyage de chambre. Le processeur peut obtenir des données de détection représentant une concentration de sous-produit de nettoyage évacuée d'un intérieur de la chambre de traitement et déterminer un résultat final du processus de nettoyage de chambre sur la base des données de détection et/ou déterminer une condition de défaut associée à la chambre de traitement sur la base des données de détection.