BIODERIVED ORGANIC SOLVENTS
The present disclosure is directed to methods and systems of purifying bioderived organic solvents. The purified bioderived organic solvents can be used in a multistep semiconductor manufacturing process. La présente divulgation concerne des procédés et des systèmes de purification de solvants organ...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | The present disclosure is directed to methods and systems of purifying bioderived organic solvents. The purified bioderived organic solvents can be used in a multistep semiconductor manufacturing process.
La présente divulgation concerne des procédés et des systèmes de purification de solvants organiques biodérivés. Les solvants organiques biodérivés purifiés peuvent être utilisés dans un procédé de fabrication de semi-conducteurs en plusieurs étapes. |
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