MULTI-CHAMBER PROCESSING TOOL WITH ENHANCED THROUGHPUT

Embodiments of multi-chamber processing tools are provided herein. In some embodiments, a multi-chamber processing tool includes: a factory interface configured to receive a substrate; a pre-heat chamber directly coupled to the factory interface; a load lock chamber coupled to the factory interface and having a first slit valve disposed therebetween, wherein the load lock chamber is coupled to a pump configured to create a vacuum environment when the first slit valve is in a closed position; a degas chamber coupled to the factory interface and having a second slit valve, wherein the degas chamber is coupled to a second pump configured to create a vacuum environment when the second slit valve is in a closed position, and wherein the degas chamber includes a heat source; one or more process chambers; and a transfer chamber coupled to the load lock chamber, the degas chamber, and the one or more process chambers. L'invention concerne des modes de réalisation d'outils de traitement à chambres multiples. Dans certains modes de réalisation, un outil de traitement à chambres multiples comprend : une interface d'usine conçue pour recevoir un substrat ; une chambre de préchauffage directement couplée à l'interface d'usine ; une chambre de verrouillage de charge couplée à l'interface d'usine et ayant une première soupape à fente disposée entre celles-ci, la chambre de verrouillage de charge étant couplée à une pompe conçue pour créer un environnement sous vide lorsque la première soupape à fente est dans une position fermée ; une chambre de dégazage couplée à l'interface d'usine et ayant une seconde soupape à fente, la chambre de dégazage étant couplée à une seconde pompe conçue pour créer un environnement sous vide lorsque la seconde soupape à fente est dans une position fermée, et la chambre de dégazage comprenant une source de chaleur ; une ou plusieurs chambres de traitement ; et une chambre de transfert couplée à la chambre de verrouillage de charge, à la chambre de dégazage et à la ou aux chambres de traitement.