MOLYBDENUM TARGET AND METHOD FOR PRODUCING SAME

The present invention provides a molybdenum target and a method for producing the same, wherein the occurrence of particle-causing pores is suppressed, and the size and distribution of the pores are highly accurately controlled. Provided is a molybdenum target formed from a sintered body of molybdenum powder, the molybdenum target having a relative density of 99% or more, an oxygen content of 25 ppm or less, a carbon content of 30 ppm or less, a tungsten content of 10-100 ppm, and a molybdenum content excluding the oxygen content, the carbon content, and the tungsten content of 99.999 mass% or more. In an observation region measuring 0.15 mm2, the number of pores having a size of 0.01 μm2 or more and less than 0.2 μm2 is 20 or less, the number of pores having a size of 0.2 μm2 or more and less than 1.8 μm2 is 5 or less, and the number of pores having a size of 1.8 μm2 or more is 1 or less. La présente invention concerne une cible de molybdène et un procédé pour sa production, l'apparition de pores provoquant des particules étant supprimée et la dimension et la distribution des pores étant régulées avec une grande précision. L'invention concerne une cible en molybdène formée à partir d'un corps fritté en poudre de molybdène, la cible en molybdène présentant une densité relative de 99 % ou plus, une teneur en oxygène de 25 ppm ou moins, une teneur en carbone de 30 ppm ou moins, une teneur en tungstène de 10 à 100 ppm et une teneur en molybdène, à l'exclusion de la teneur en oxygène, la teneur en carbone et la teneur en tungstène, de 99,999 % en masse ou plus. Dans une région d'observation mesurant 0,15 mm2, le nombre de pores présentant une dimension de 0,01 µm2 ou plus et inférieure à 0,2 µm2 est de 20 ou moins, le nombre de pores présentant une dimension de 0,2 µm2 ou plus et inférieure à 1,8 µm2 est de 5 ou moins et le nombre de pores présentant une dimension de 1,8 µm2 ou plus est de 1 ou moins. パーティクルの発生原因であるポアの生成を抑え、そのサイズと分布を高精度に制御したモリブデンターゲット及びその製造方法を提供する。 モリブデン粉末の焼結体で形成されたモリブデンターゲットであって、相対密度が９９％以上であり、酸素含有量が２５ｐｐｍ以下であり、炭素含有量が３０ｐｐｍ以下であり、タングステン含有量が１０ｐｐｍ～１００ｐｐｍであり、前記酸素含有量、前記炭素含有量および前記タングステン含有量を除いたモリブデン含有量が９９．９９９質量％以上であり、０．１５ｍｍ2の観察領域において、０．０１μｍ2以上０．２μｍ2未満の大きさのポアが２０個以下であり、０．２μｍ2以上１．８μｍ2未満の大きさのポアが５個以下であり、１．８μｍ2以上の大きさのポアが１個以下であるモリブデンターゲット。