MULTI-CHANNEL PRECURSOR DELIVERY SYSTEM

A precursor delivery system for supplying a precursor to a process chamber includes a housing, and a detachable precursor dispensing assembly detachably coupled to the housing and configured to supply the precursor to the process chamber, wherein the detachable precursor dispensing assembly includes...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RUSSELL, Shoa Allene, HART, Kyle Watt, PREMAKUMAR, Harish Kumar, FISHER, Adam, LETOURNEAU, Steven Payonk, GUPTA, Awnish, RAKESH, Chandrashekar
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A precursor delivery system for supplying a precursor to a process chamber includes a housing, and a detachable precursor dispensing assembly detachably coupled to the housing and configured to supply the precursor to the process chamber, wherein the detachable precursor dispensing assembly includes an ampoule, and a first valve assembly fluidly coupled to the ampoule, and including, a first valve, a second valve, a third valve, and a fourth valve. The precursor delivery system also includes a controller. Un système de distribution de précurseur destiné à fournir un précurseur à une chambre de traitement comprend un boîtier, et un ensemble de distribution de précurseur détachable couplé de manière amovible au boîtier et configuré pour fournir le précurseur à la chambre de traitement, l'ensemble de distribution de précurseur détachable comprenant une ampoule, et un premier ensemble soupape couplé de manière fluidique à l'ampoule, et comprenant, une première soupape, une deuxième soupape, une troisième soupape et une quatrième soupape. Le système de distribution de précurseur comprend également un dispositif de commande.