HYBRID APPARATUS, SYSTEM AND TECHNIQUES FOR MASS ANALYZED ION BEAM

An apparatus, including an electrodynamic mass analysis (EDMA) assembly. The EDMA assembly may include a first upper electrode, disposed above a beam axis; and a first lower electrode, disposed below the beam axis, opposite the first upper electrode, the EDMA assembly arranged to receive a first RF voltage signal at a first frequency. The apparatus may include a deflection assembly, disposed downstream to the EDMA assembly, the deflection assembly comprising a blocker, disposed along the beam axis. The apparatus may include an energy spread reducer (ESR), disposed downstream to the deflection assembly, the energy spread reducer arranged to receive a second RF voltage signal at a second frequency, twice the first frequency. The ESR may include an upper ESR electrode, disposed above the beam axis; and a lower ESR electrode, disposed below the beam axis. L'invention concerne un appareil comprenant un ensemble d'analyse de masse électrodynamique (EDMA). L'ensemble EDMA peut comprendre une première électrode supérieure, disposée au-dessus d'un axe de faisceau ; et une première électrode inférieure, disposée au-dessous de l'axe de faisceau, opposée à la première électrode supérieure, l'ensemble EDMA étant agencé pour recevoir un premier signal de tension RF à une première fréquence. L'appareil peut comprendre un ensemble de déviation, disposé en aval de l'ensemble EDMA, l'ensemble de déviation comprenant un bloqueur, disposé le long de l'axe de faisceau. L'appareil peut comprendre un réducteur d'étalement d'énergie (ESR), disposé en aval de l'ensemble de déviation, le réducteur d'étalement d'énergie étant conçu pour recevoir un second signal de tension RF à une seconde fréquence, deux fois la première fréquence. L'ESR peut comprendre une électrode ESR supérieure, disposée au-dessus de l'axe de faisceau ; et une électrode ESR inférieure, disposée au-dessous de l'axe de faisceau.