STATOR FOR A VACUUM PUMP

A vacuum pump stator (114) comprising: one or more walls (122, 124, 126) defining a pumping chamber (118); and a heat exchanger (130) comprising a conduit (132) through at least one of the one or more walls (122, 124, 126) which, in use, a purge gas is passed through whereby to heat the purge gas. L...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: WICKES, Matthew Richard
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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