NANOPORE SENSOR DEVICE

A sensor device (902) for a nanopore sensor, the sensor device (902) comprising: an insulating substrate (903); one or more wells (908) for containing a fluid; wherein the one or more wells (908) are formed on a first side of the substrate (903); a sensor electrode (910) for detecting an ionic current in each of the one or more wells (908); wherein the sensor electrodes (910) are formed on the first side of the substrate (903) at the base of the one or more wells (908); one or more vias (912) extending through the substrate (903); wherein the one or more vias (912) are connected to the sensor electrodes (910); wherein the one or more vias (912) each comprise: a conductor (946) forming a conductive path through the via (912); and a material (948) arranged to retain the conductor (946) in the via; wherein the material (948) arranged to retain the conductor (946) in the via (912) is different from a material of the conductor (946). L'invention concerne un dispositif de détecteur (902) pour un détecteur à nanopores, le dispositif de détecteur (902) comprenant : un substrat isolant (903) ; un ou plusieurs puits (908) pour contenir un fluide, le ou les puits (908) étant formés sur une première face du substrat (903) ; une électrode de détecteur (910) pour détecter un courant ionique dans chacun du ou des puits (908), les électrodes de détecteur (910) étant formées sur le premier côté du substrat (903) à la base du ou des puits (908) ; un ou plusieurs trous d'interconnexion (912) s'étendant à travers le substrat (903), le ou les trous d'interconnexion (912) étant connectés aux électrodes de détecteur (910), le ou les trous de liaison (912) comprenant chacun : un conducteur (946) formant un trajet conducteur à travers le trou d'interconnexion (912) et un matériau (948) agencé pour retenir le conducteur (946) dans le trou d'interconnexion, le matériau (948) agencé pour retenir le conducteur (946) dans le trou d'interconnexion (912) étant différent d'un matériau du conducteur (946).