TREATING AN ELECTROSTATIC CHUCK PEDESTAL

TREATING AN ELECTROSTATIC CHUCK PEDESTAL

A method for laser treating an electrostatic chuck pedestal comprises selectively applying a laser beam to a substrate contact area of the electrostatic chuck pedestal to form a microstructurally modified layer on at least a portion of the substrate contact area. The electrostatic chuck pedestal may...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: BELOSTOTSKIY, Sergey Georgiyevich, VAHIDI, Mahmoud, KUCUK, Ahmet, HOLLINGSWORTH, Joel, LEESER, Karl Frederick
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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creator BELOSTOTSKIY, Sergey Georgiyevich
VAHIDI, Mahmoud
KUCUK, Ahmet
HOLLINGSWORTH, Joel
LEESER, Karl Frederick
description A method for laser treating an electrostatic chuck pedestal comprises selectively applying a laser beam to a substrate contact area of the electrostatic chuck pedestal to form a microstructurally modified layer on at least a portion of the substrate contact area. The electrostatic chuck pedestal may be refurbished using the laser beam without significantly reducing its thickness compared to machining. This may extend a lifetime of the electrostatic chuck pedestal through multiple use and refurbishment cycles. Un procédé de traitement au laser d'un socle de mandrin électrostatique comprend l'application sélective d'un faisceau laser à une zone de contact de substrat du socle de mandrin électrostatique pour former une couche à microstructure modifiée sur au moins une partie de la zone de contact de substrat. Le socle de mandrin électrostatique peut être remis à neuf à l'aide du faisceau laser sans réduire de manière significative son épaisseur par comparaison à un usinage. Ceci peut prolonger la durée de vie du socle de mandrin électrostatique sur de multiples cycles d'utilisation et de remise à neuf.
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The electrostatic chuck pedestal may be refurbished using the laser beam without significantly reducing its thickness compared to machining. This may extend a lifetime of the electrostatic chuck pedestal through multiple use and refurbishment cycles. Un procédé de traitement au laser d'un socle de mandrin électrostatique comprend l'application sélective d'un faisceau laser à une zone de contact de substrat du socle de mandrin électrostatique pour former une couche à microstructure modifiée sur au moins une partie de la zone de contact de substrat. Le socle de mandrin électrostatique peut être remis à neuf à l'aide du faisceau laser sans réduire de manière significative son épaisseur par comparaison à un usinage. 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