SEMICONDUCTOR PRESSURE CHIP SENSOR

Provided is a semiconductor pressure chip sensor having excellent responsiveness and corrosion resistance. The semiconductor pressure chip sensor comprises: a sensor body 5 made of a semiconductor material; and a pressure sensor element provided to the sensor body 5. A diaphragm 8 is interposed between the sensor body 5 and a fluid which is subjected to pressure detection by the pressure sensor element. L'invention concerne un capteur de pression à puce à semi-conducteur ayant une excellente réactivité et une excellente résistance à la corrosion. Le capteur de pression à puce à semi-conducteur comprend : un corps de capteur (5) constitué d'un matériau semi-conducteur ; et un élément de capteur de pression disposé sur le corps de capteur (5). Un diaphragme (8) est interposé entre le corps de capteur (5) et un fluide qui est soumis à une détection de pression par l'élément de capteur de pression. 応答性に優れ、しかも耐食性を有する半導体圧力チップセンサを提供する。半導体材料によって作製されているセンサ本体５と、センサ本体５に設けられた圧力センサ素子を有し、センサ本体５と、圧力センサ素子によって圧力を検出される流体との間には隔膜８を介在させている。