AN ILLUMINATION MODULE FOR A METROLOGY DEVICE

Disclosed is an illumination configuration module comprising: a polarizing and wavelength separation arrangement operable to separate input broadband illumination into at least first dispersed illumination comprising a first polarization state and second dispersed illumination comprising a second po...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ZHOU, Zili, BUIJS, Robin, ARABUL, Mustafa, BRULS, Dominique
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY ELECTROPHOTOGRAPHY HOLOGRAPHY MAGNETOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Disclosed is an illumination configuration module comprising: a polarizing and wavelength separation arrangement operable to separate input broadband illumination into at least first dispersed illumination comprising a first polarization state and second dispersed illumination comprising a second polarization state; a single spatial light modulation device operable to individually modulate each of the first dispersed illumination and second dispersed illumination to obtain first spectrally configured illumination and second spectrally configured illumination; and output optics operable to combine said first spectrally configured illumination and second spectrally configured illumination into an output illumination beam. Est divulgué un module de configuration d'éclairage comprenant : un agencement de séparation de polarisation et de longueur d'onde utilisable pour séparer un éclairage à large bande d'entrée en au moins un premier éclairage dispersé comprenant un premier état de polarisation et un second éclairage dispersé comprenant un second état de polarisation ; un dispositif de modulation de lumière spatiale unique utilisable pour moduler individuellement chacun du premier éclairage dispersé et du second éclairage dispersé pour obtenir un premier éclairage configuré spectralement et un second éclairage configuré spectralement ; et une optique de sortie utilisable pour combiner ledit premier éclairage configuré spectralement et un second éclairage configuré spectralement en un faisceau d'éclairage de sortie.