VOICE COIL LEAF SPRING PROBER

Aspects of the present disclosure describe a voice coil actuated leaf spring prober that advantageously may be operated to probe every individual device (device under test - DUT) comprising a contemporary wafer. The prober according to aspects of the present disclosure includes one or more probe needles attached in an electrically isolated arrangement to an end of a horizontal-U-shaped, recurved, leaf spring arrangement. The prober includes - for example - a voice coil actuator positioned within the horizontal-Ushaped portion of the leaf spring which - when operated - results in leaf spring displacement and probe needle movement such that it may mechanically/electrically contact the DUT. Des aspects de la présente divulgation concernent une sonde à ressort à lames actionnée par bobine acoustique, pouvant être actionnée avantageusement pour sonder chaque dispositif individuel (dispositif soumis à l'essai - DSE) comprenant une tranche contemporaine. La sonde selon des aspects de la présente divulgation comprend au moins une aiguille de sonde fixée, dans un agencement isolé électriquement, sur une extrémité d'un agencement de ressort à lames recourbé, en forme de U horizontal. La sonde comprend - par exemple - un actionneur à bobine acoustique positionné à l'intérieur de la partie en forme de U horizontal du ressort à lames qui, lorsqu'il est actionné, entraîne le déplacement du ressort à lames et le mouvement de l'aiguille de sonde, de sorte qu'elle puisse venir en contact mécanique/électrique avec le DSE.