METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING A FLUORIDIC PROTECTIVE COATING FOR A REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer fluoridischen Schutzbeschichtung (11) zum Schutz einer metallischen Reflexionsschicht (12) eines reflektiven optischen Elements (13) für den VUV-Wellenlängenbereich, umfassend den Schritt: Bestrahlen einer nativen Oxidschicht (16) der metall...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LANGE, Felix, SACK, Christian, HÄRTLING, Marcel, SCHICK, Katja, WIEGAND, Alexander
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MATERIALS THEREFOR METALLURGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer fluoridischen Schutzbeschichtung (11) zum Schutz einer metallischen Reflexionsschicht (12) eines reflektiven optischen Elements (13) für den VUV-Wellenlängenbereich, umfassend den Schritt: Bestrahlen einer nativen Oxidschicht (16) der metallischen Reflexionsschicht (12) mit UV/VUV-Strahlung (17) in Gegenwart eines Fluorierungswirkstoffs (FW) zum Umwandeln der nativen Oxidschicht (16) in eine Fluoridschicht (18) der fluoridischen Schutzbeschichtung (11). Die Erfindung betrifft auch ein reflektives optisches Element (13) mit einer fluoridischen Schutzbeschichtung (11), die mittels dieses Verfahrens hergestellt wurde, sowie eine optische Anordnung mit mindestens einem solchen reflektiven optischen Element (13). The invention relates to a method for producing a fluoridic protective coating (11) for protecting a metallic reflection layer (12) of a reflective optical element (13) for the VUV wavelength range, comprising the step of: irradiating a native oxide layer (16) of the metallic reflection layer (12) with UV/VUV radiation (17) in the presence of a fluoridation agent (FW) for converting the native oxide layer (16) into a fluoride layer (18) of the fluoridic protective coating (11). The invention also relates to a reflective optical element (13) with a fluoridic protective coating (11) which has been produced by means of this method and also to an optical arrangement with at least one such reflective optical element (13). L'invention concerne un procédé de fabrication d'un revêtement de protection fluoridique (11) pour protéger une couche de réflexion métallique (12) d'un élément optique réfléchissant (13) pour la plage de longueurs d'onde VUV, comprenant l'étape consistant à : exposer une couche d'oxyde natif (16) de la couche de réflexion métallique (12) à un rayonnement UV/VUV (17) en présence d'un agent de fluoration (FW) pour convertir la couche d'oxyde natif (16) en une couche de fluorure (18) du revêtement de protection fluoridique (11). L'invention concerne également un élément optique réfléchissant (13) doté d'un revêtement de protection fluoridique (11) qui a été fabriqué au moyen de ce procédé et également un agencement optique avec au moins un tel élément optique réfléchissant (13).