DISTORTION REDUCTION IN A MULTI-BEAM IMAGING SYSTEM

A system may include a controller couplable to an imaging sub-system utilizing multiple particle beams, where the imaging sub-system includes one or more control elements to manipulate the two or more particle beams that are adjustable with two or more control parameters. The controller may select values of the two or more control parameters by iteratively performing steps until one or more termination conditions are met. For example, the controller may receive measurements of changes of distortions of the particle beams resulting from individual adjustments of the control parameters. The controller may further calculate values of the control parameters that reduce the distortions of the particle beams based on the changes of the distortions resulting from the individual adjustments. The controller may further direct the adjustment of the values of the control parameters to the calculated values. Un système peut comprendre un dispositif de commande pouvant être couplé à un sous-système d'imagerie à l'aide de multiples faisceaux de particules, le sous-système d'imagerie comprenant un ou plusieurs éléments de commande pour manipuler les deux faisceaux de particules ou plus qui sont réglables avec au moins deux paramètres de commande. Le dispositif de commande peut sélectionner des valeurs des deux paramètres de commande ou plus en effectuant de manière itérative des étapes jusqu'à ce qu'une ou plusieurs conditions de terminaison soient satisfaites. Par exemple, le dispositif de commande peut recevoir des mesures de changements de distorsions des faisceaux de particules résultant d'ajustements individuels des paramètres de commande. Le dispositif de commande peut en outre calculer des valeurs des paramètres de commande qui réduisent les distorsions des faisceaux de particules sur la base des changements des distorsions résultant des ajustements individuels. Le dispositif de commande peut en outre diriger l'ajustement des valeurs des paramètres de commande aux valeurs calculées.